提出在单片微波集成电路 (MMIC)中用多孔硅 /氧化多孔硅厚膜作微波无源器件的低损耗介质膜 .研究了厚度为 70μm的多孔硅 /氧化多孔硅厚膜在低阻硅衬底上的形成 ,这层厚膜增加了衬底的电阻率 ,减少了微波的有效介质损耗 .通过测量在低阻硅衬底上形成的氧化多孔硅厚膜上的共平面波导的微波特性 ,证明了在低阻硅衬底上用厚膜氧化多孔硅可以提高共平面传输线 (CPW)的微波特性

国家自然科学基金 (批准号 :698760 12 ); 国家杰出青年基金 (批准号 :6992 5 40 9); 国家重点基础研究规划 (973 ) (批准号 :G19990 3 3 10 5 ); 上海市科技发展基金资助项目;

微波/射频; 多孔硅/氧化多孔硅; 介质膜; 损耗;

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