应用计算机辅助设计 (CAD)方法模拟设计一种射频微机械 (RF- MEMS)开关 .用 Agilent ADS软件模拟分析了共面波导的传输线损耗和 MEMS开关的等效电路模型 ,并应用 ANSYS软件模拟开关的驱动电压 ,得到了35 GHz工作频率的并联电容式 MEMS开关一些有意义的理论分析结果 .

国家基础研究发展基金 (973 ) (No.G19990 3 3 10 -5 ); 国家杰出青年基金 (批准号 :6992 5 40 9); 上海市 AM基金 (No.0 0 0 4)资助项目~~;

并联电容式开关; 微电子机械系统(MEMS); 共面波导; ADS软件; ANSYS软件;

TP391.72

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