通过在共平面波导上周期性地分布微机械电容 ,外加电压驱动改变电容值 ,可实现级联式MEMS移相器 .本文讨论了优化相移特性对共平面波导特性阻抗及下拉电压的要求 ,通过工艺参数优化制备了高阻硅基上的Ka波段级联式MEMS移相器 ,测试结果表明制备器件具有较低的驱动电压 ,8V时即产生明显的相移量 ,在 36GHz处 15V驱动电压时相移量为 118°,2 5V时为 2 86°.对微结构弹性膜的机械振动寿命测试表明 ,13级级联的MEMS移相器所有弹性膜同步振动的寿命为 3× 10 6次 .为器件的实用化提供了重要保障 .

国家973项目集成微光机电系统研究(No.G1 9990 331 0 5); 国家自然科学基金(No .698760 1 2 ); 国家杰出青年基金(No.6997540 9); 上海应用材料研究与发展基金(No.0 1 0 3); 上海市重点学科项目(No.0 1 2 2 61 0 2 8);

微机械移相器; 高阻硅; 驱动电压; 振动寿命;

TN492

电子学报

Acta Electronica Sinica

2003年12期

ISSN:0372-2112

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1211914-1916358k
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