文章主要讨论了微机电微波/射频开关的原理、制备工艺和特性测试。微机电接触式微波/射频开关的关键结构是悬臂梁,当控制电压大于吸合电压时,悬臂梁发生吸合,使开关导通。考虑到微机电制备工艺的兼容性,选择PECVD生长的氮化硅作悬臂梁,聚酰亚胺作牺牲层。测试结果表明,研制的微机电开关在0.5~5GHz的范围内插入损耗为2dB,隔离度达30~50dB。

国家"973"项目(G1999033105); 上海市AM基金(9810)共同资助;

微机电系统; 微波/射频开关; 共平面波导; 悬臂梁; 插入损耗; 隔离度;

TM564

微电子学

Microelectronics

2003年04期

ISSN:1004-3365

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163273-275377k
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