介绍了一种表面微机械系统开关 ,悬臂材料为Au SiOxNy Au铬金作为电欧姆接触。用静电激励 (激励电压为 1 3V)方式 ,测试其隔离度。获得结果为微机械开关在 1~ 4 0GHz的范围内隔离度可高达 35dB。我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法测试寿命。结果寿命接近 1 0 5,应用ANSYS对几种不同的MEMS射频接触悬臂开关模型进行了力电耦合分析和失效机理。

国家 973《集成微光机电系统研究》(G19990 3 3 10 5 ); 国家杰出青年基金 (6 992 5 4 0 9); 国家自然科学基金 (1 0 374 0 95 ); 上海 -应用材料研究与发展基金项目资助 (0 30 6 ) .;

寿命; 悬臂接触式开关; 驱动电压; 失效; ANSYS;

TN405

289492-496571k
在线咨询 用户反馈